一般情況下，純化水工藝用水系統主要包括原水預處理部分、脫鹽部分、后處理部分和貯存分配部分。原水一般為飲用水，預處理部分包括原水儲罐、多介質過濾器、活性碳過濾器、樹脂軟化器（或加藥阻垢設備）、精密過濾器（5μm）等；脫鹽部分主要為反滲透或（EDI或離子交換器）等裝備；后處理部分包括紫外線和臭氧發生器等消毒殺菌裝置；貯存分配部分包括純化水儲罐和輸送泵等。注射用水制水裝置除具備純化水工藝用水系統還包括蒸餾器，貯存分配部分還包括注射用水儲罐。其中：

（一）預處理設備的配備：

原水中懸浮物含量較高的需設砂濾（多介質）；原水中硬度較高時，需增加軟化工序；原水中有機物含量較高，需增加凝聚、活性炭吸附，若選用活性炭過濾器，要求設對有機物反沖、消毒裝置；原水中氯離子較高，為防止對后工序如離子交換、反滲透的影響，需加氧化－還原（NaHSO₃）處理；原水中CO₂含量高時，采用脫氣裝置；細菌多，需采用加氯或臭氧，或紫外線滅菌。

（二）脫鹽設備的配備：

去離子裝置應在線再生，酸、堿的裝卸、貯存、輸送所需罐、泵、管材、閥、計量儀表需防腐；若采用反滲透裝置，其進口處需安裝3～5μm過濾器；通過混床的水直接進入純化水罐前，應設3～5μm濾器，以防止細小樹脂殘片進入，過濾器應設置壓差表；通過混床的純化水可保持循環流動，使水質穩定，循環管線上應設電導儀。

（三）后處理設備的配備：

紫外線滅菌的光的強度隨時間衰減，應有光強度檢測或時間記錄儀，以便定期清洗或更換紫外線燈管；陰、陽離子混床及反滲透裝置、EDI裝置，應設置定期的反洗裝置；前處理的管道材料多選用ABS工程塑料等耐壓、耐腐蝕材料，在反滲透高壓泵等精處理設施后，管道通常選用不銹鋼材料。